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MEMS中多孔硅绝热技术
  • 期刊名称：纳米技术与精密工程， 3（2）：106-111.2005
  • 时间：0
  • 相关项目：面向SOC多孔硅绝热微集成热敏元件研究
作者： 窦雁巍 胡明
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面向SOC多孔硅绝热微集成热敏元件研究
期刊论文 49 会议论文 5
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