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Interfacial and electrical properties of atomic-layer-deposited ZrO2 with Gd2O3 passivation layer on
  • ISSN号:0169-4332Electronic Resource Number: 10.1016/s0169-4332(03)00702-5
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:2013
  • 页码:35-39
  • 相关项目:铪基稀土金属多元氧化物高K栅介质的基础研究
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