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The improvement of performance of HfO2/Gd2O3/Si stack compared with Gd-doped HfO2 High-k films
  • 期刊名称:Materials Science Forum
  • 时间:2011
  • 页码:209-214
  • 相关项目:铪基稀土金属多元氧化物高K栅介质的基础研究
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