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非易失性阻变存储器研究进展
  • ISSN号:0258-7076
  • 期刊名称:稀有金属
  • 时间:2012
  • 页码:491-500
  • 分类:TN30[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]北京有色金属研究总院先进电子材料研究所,北京100088, [2]北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心,北京100088
  • 相关基金:国家重点基金(50932001); 国家重大科技专项02专项(2009ZX02039-005)资助项目
  • 相关项目:铪基稀土金属多元氧化物高K栅介质的基础研究
中文摘要:

随着器件特征尺寸不断缩小,集成度不断提高,传统的基于电荷存储的非易失性FLASH存储器将面临物理与技术的极限。新型的阻变存储器具有高速读写、存储密度高、能耗低等优点引起了微电子产业界广泛关注。介绍了阻变存储器的阻变行为,综述了目前研究的存储机制、性能及其改善方法、材料体系、器件结构,并展望了阻变存储器的应用前景。

英文摘要:

With the continuing scaling of feature size of devices and increasing of integration,conventional charge-based random access nonvolatile flash memory was coming up against technical and physical limits in the near future.Resistive switching random access memory(RRAM) widely attracted attention in semiconductor industry because of the advantages in high-speed,high-density and less energy-consuming.This review presented an insight on the latest developments of RRAM.The resistive switching behavior,resistive switching mechanisms,various categories of RRAM materials,memory structure,the properties and the improving ways were included.The challenges facing the RRAM technology were summarized as it moved toward the beyond-22-nm generation of nonvolatile memories and the application prospects.

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期刊信息
  • 《稀有金属》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:北京有色金属研究总院
  • 主编:屠海令
  • 地址:北京新街口外大街2号
  • 邮编:100088
  • 邮箱:xxsf@grinm.com
  • 电话:010-82241917 62014832
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7076
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2111/TF
  • 邮发代号:82-167
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,冶金工业类核心期刊,中国科技论文统计源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:13688