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Chemical Vapor Deposited From A Single Source Precursor of Anhydrous HfxZr1-x(NO3)4
  • ISSN号:0022-0248
  • 期刊名称:Journal of Crystal Growth
  • 时间:2012.1.1
  • 页码:12-16
  • 相关项目:铪基稀土金属多元氧化物高K栅介质的基础研究
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