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电子束曝光机偏转系统及可动物镜
  • 期刊名称：光学学报. 24（3）.423-426，2004年3月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 尹明*，张玉林
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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