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自适应控制在纳米加工微驱动器中
  • 期刊名称：压电与声光. 28（4）.472-474，2006年8月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 魏强，张玉林*，宋会英，于欣蕾
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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