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微机电系统的微细加工技术
  • 期刊名称：微纳电子技术.（11）.32-38，2004年11月
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 孔祥东，张玉林*，宋会英，卢文
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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