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电子束曝光中电子散射模型的优化
  • 期刊名称：微细加工技术.（3）.14-19，2005年9月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 宋会英，张玉林*，魏强，孔祥东
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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