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电子束重复增量扫描生成三维结构
  • 期刊名称：半导体学报. 27（7）.1326-1330，2005年12月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 郝慧娟，张玉林*，卢文娟，魏 强
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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