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低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte
  • 期刊名称：微细加工技术.（4）.1-6，2004年12月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 宋会英，张玉林*，孔祥东
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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