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非线性曲线拟合法确定邻近效应参
  • 期刊名称：微细加工技术.（2）.12-15，2006年4月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 郝慧娟，张玉林*，宋会英，魏 强
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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