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电子束在MEMS加工中邻近效应的分
  • 期刊名称：机械工程学报.140（9）.67-70，2004年9月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 尹明*，张玉林，成建辉
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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