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MEMS的细电子束液态曝光技术研究
  • 期刊名称：青岛大学学报（工程技术版）.20（4）.34-39，2005年12月
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 孔祥东,张玉林*,卢文娟
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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