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细电子束像差与畸变参量非劣解中
  • 期刊名称：强激光与粒子束.17（2）.271-274，2005年2月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 尹明*，吕风杰，张其武
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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