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分析芯片微通道制作技术研究
  • 期刊名称：中国工程科学.6（10）.90-94，2004年10月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 魏守水*，张玉林，崔大付
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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