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电子束静电折板偏转系统的研究
  • 期刊名称：光电子·激光. 16（3）.263-266，2005年3月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 尹明*，金萍，孙晓军，柴杉
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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