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电子束重复增量扫描曝光方式的反
  • 期刊名称：微细加工技术.（5）.13-17，2006年10月（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 卢文娟，张玉林*，孔祥东，郝惠
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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