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基于低能电子束的光刻技术
  • 期刊名称：电子工业专用设备.（2）.33-36，2005年6月
  • 时间：0
  • 相关项目：电子束光刻生成三维结构的研究
作者： 魏强, 张玉林*, 宋会英
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电子束光刻生成三维结构的研究
期刊论文 55 会议论文 8
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