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MOCVD制备AlGaN基多波段布拉格反射镜
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：《半导体学报：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN304.2[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093 美国西北大学材料工程系,美国 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
  • 相关基金：国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB6049),国家自然科学基金(批准号:6039072,60476030,60421003,60676057),教育部重大项目(批准号:10416),高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050284004),江苏省自然科学基金(批准号:BK2005210,BK2006126),江苏省高等学校研究生创新基金资助项目
作者： 刘斌[1], 张荣[1], 谢自力[1], 姬小利[1], 李亮[1], 周建军[1], 江若琏[1], 韩平[1], 郑有炓[1], 郑建国[1], 龚海梅[1]
关键词： 金属有机物化学气相淀积, 布拉格反射镜, 反射率
中文摘要：

利用金属有机物化学气相淀积系统(MOCVD)制备了AlGaN基多波段布拉格反射镜.多个布拉格反射镜的工作波长覆盖从蓝绿光至紫外范围,分别由多周期的双层结构GaN/AlN,Al0.3Ga0.7N/AlN,Al0.5Ga0.5N/AlN组成.这些多周期光学结构都生长在GaN支撑层上.AFM研究发现,这些布拉格反射镜具有平整光滑的表面,其粗糙度小于lnm;X射线衍射谱和截面透射电镜图片表明它们具有完整的周期重复性和清晰的界面.利用可见-紫外光谱仪研究这些布拉格反射镜的反射谱,发现反射率和半峰宽不仅与周期数有关也与两种材料的折射率系数差有关.

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期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754