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Net shape manufacturing of ceramic micro parts with tailored graded layers for functional micro devi
  • ISSN号:0960-1317 (ISSN)
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:2014.1.1
  • 页码:1-7
  • 相关项目:纳米制造中的计量溯源与测试理论研究
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