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Characterization of surface properties of glass micropipettes using SEM stereoscopic technique
  • ISSN号:0167-9317
  • 期刊名称:Microelectronic Engineering
  • 时间:2011.2.2
  • 页码:2666-2670
  • 相关项目:纳米制造中的计量溯源与测试理论研究
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