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长波长锗硅光电探测器的材料生长研究
  • ISSN号:1003-353X
  • 期刊名称:半导体技术
  • 时间:0
  • 页码:406-409
  • 语言:中文
  • 分类:TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]天津工业大学信息与通信工程学院,天津300160
  • 相关基金:国家自然科学重点基金项目(NSFC-60536030)
  • 相关项目:硅基单片光电子集成回路(OEIC)的关键技术及相关理论研究
中文摘要:

介绍了应变SiGe层的特性,包括SiGe应变层临界厚度与Ge组分的关系,能带变窄,折射率增加以及应变SiGe层的亚稳态特性。然后从材料生长方面入手,提出了4种改善长波长锗硅光电探测器性能的方案,包括采用生长缓冲层来减小位错的方法、生长高组分表面起伏多量子阱的方法和生长Ge岛超晶格的方法,随之给出了相关的实验结果,并对这4种方案进行了分析。最后对上述内容进行小结,并对Ge量子点共振腔增强型光电探测器的应用前景进行了探讨与展望。

英文摘要:

Characteristics of SiGe strain layers are described, including the relation between critical thickness of SiGe strain layers and Ge composition, the narrowed energy band, the increased refractive index and the metastable state of SiGe strain layers. In order to improve the performance of SiGe photodetector, four methods focused on the growth of SiGe material are put forward, such as growing buffer layers to reduce dislocation, growing high composition surface fluctuations multiple quantum well, growing Ge islands superlattice, and the experimental results are ginen. The four methods are analyzed. At last, the above contents are summarized. The underling importance of the Ge quantum dot resonant cavity enhanced photodetector is discussed and its prospects are offered.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:赵小玲
  • 地址:石家庄179信箱46分箱
  • 邮编:050051
  • 邮箱:informax@heinfo.net
  • 电话:0311-87091339
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6070