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大面积 VHF-PECVD 用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究
  • ISSN号：1672-7126
  • 期刊名称：真空科学与技术学报
  • 时间：0
  • 页码：281-285
  • 语言：中文
  • 相关项目：采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究
作者： 赵颖|岳强|葛洪|张晓丹|赵静|张发荣|
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期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
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  • 邮编：100022
  • 邮箱：cvs@chinesevacuum.com
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  • 国际标准刊号：ISSN：1672-7126
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5177/TB
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  • 国内外数据库收录:
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  • 被引量:4421