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用超声喷雾热分解法制备p型Zn_(1-x)Mg_xO薄膜
  • ISSN号：1005-0086
  • 期刊名称：《光电子．激光》
  • 时间：0
  • 分类：O484.4[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]河北工业大学信息学院 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室
  • 相关基金：国家高技术研究发展计划资助项目(2007AA05Z436);; 国家自然科学基金资助项目(60506003);; 国家重点基础研究发展规划项目(2006CB202602,2006CB202603);; 天津市自然科学基金资助项目(05YFJMTC01600);; 科技部国际合作重点资助项目(2006DFA62390);; 南开大学博士启动基金(J02031);; 新世纪优秀人才计划资助项目
作者： 边楠[1], 张晓丹[1], 张霞[1], 赵颖[1], 杨瑞霞[1]
关键词： 超声喷雾热分解(USP), N-Al共掺, p型Zn1-xMgxO薄膜, 透过率, ultrasonic spray Pyrolysis（USP）, NAl co-doping, P type Zn1-xMgxO thin film, transmittance
中文摘要：

利用超声喷雾热分解(USP)技术,采用N-Al共掺法,在eagle2000衬底上制备出了电学特性较好的p型Zn0.93Mg0.07O薄膜:电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3。系统分析了前驱溶液中Al掺杂量或Mg掺杂量变化时对p型Zn1-xMgxO薄膜电学特性和结构特性的影响。紫外可见光透射测试表明:Zn1-xMgxO薄膜在紫外-可见光范围内的透过率达到了80%。

英文摘要：

Zn0.93Mg0.07O based p type conductive thin films were fabricated on eagle2000 glass substrates by ultrasonic spray pyrolysis using N-Al co-doping method.The resistance,hall mobility,and carrier concentration are 18.43 Ω.cm,0.272 cm2/(V.s),and 1.24×1018 cm-3,respectively.The electrical and structural properties of p type Zn1-xMgxO thin film with different Al or Mg doped concentrations were analyzed systematically.These films have rather high average transmittance over 80% in the visible range.

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期刊信息
  • 《光电子．激光》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:天津市教育委员会
  • 主办单位:天津理工大学 中国光学学会
  • 主编：巴恩旭
  • 地址：天津市西青区宾水西道391号
  • 邮编：300384
  • 邮箱：baenxu@263.net baenxu@aliyun.com
  • 电话：022-60214470
  • 国际标准刊号：ISSN：1005-0086
  • 国内统一刊号：ISSN：12-1182/O4
  • 邮发代号:6-123
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:16551