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扫描白光干涉测量技术的算法比较
  • ISSN号：1002-1582
  • 期刊名称：《光学技术》
  • 时间：0
  • 分类：O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构：[1]西安工业大学光电工程学院, [2]西安交通大学精密工程研究所
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(50535030)
作者： 田爱玲[1], 王春慧[1], 蒋庄德[2], 王红军[1], 刘丙才[1]
关键词： 白光干涉, 轮廓测量, 零光程差, 数字模拟
中文摘要：

干涉条纹零光程差位置的确定是扫描白光干涉测量的关键技术之一。介绍了扫描白光干涉法测量物体轮廓的原理,讨论了确定白光干涉条纹零级条纹位置的几种方法,并对随机生成的表面进行了大量的数字模拟测量和分析比较,得出了各种算法对测量准确度的影响。研究结果对白光干涉的应用研究提供了可靠的理论根据。

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期刊信息
  • 《光学技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:国防科工委
  • 主办单位:中国兵工学会 北京理工大学 中国北方光电工业总公司
  • 主编：夏阳
  • 地址：北京海淀中关村南大街5号
  • 邮编：100081
  • 邮箱：gxjs@bit.edu.cn
  • 电话：010-68913628 68948720
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-1582
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1879/O4
  • 邮发代号:2-830
  • 获奖情况:
  • 中国兵器工业总公司优秀期刊一等奖,首届国防科工委优秀期刊二等奖,美国工程索引（EI）对本刊论文的收录率为87%
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
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