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微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究
  • 项目名称：微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：50535030
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：蒋庄德
  • 依托单位：西安交通大学
  • 批准年度：2005
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 83
  • 0
  • 32
  • 0
  • 0
期刊论文
压入测试仪柔度标定方法研究
发散形通道内的稳定电渗流动
TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析
基于AlAs/InGaAs/GaAs共振隧穿效应的纳机电声传感器研制
基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器设计
林尼克结构干涉测量系统误差分析
基于二阶Krylov子空间投影法建立MEMS宏模型
压电陶瓷快速响应特性与应用研究
基于红外光干涉技术的微纳结构内部三维形貌测量
高量程加速度传感器在测试中的失效分析
新型非硅薄膜网格压力传感器的研究
一种硅微多传感器集成研究
一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工
MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证
基于介观压阻效应的高g值加速度计设计
一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计
MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究
MMI微压印模板的设计与研究
微/纳结构三维形貌高精度测试系统
基于干涉显微原理的表面形貌测量系统
基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法
基于纳米压入技术的新型MEMS／NEMS材料力学行为表征
MEMS矢量水听器定位误差分析与测试
半导体吸收式光纤温度传感器的研究
红外吸收式光纤甲烷气体传感系统的研究
纳米压入法测试薄膜力学性能的若干关键影响因素分析
一种三维Mach-Zehnder型抗共振反射光波压力传感器
聚酰亚胺多模干涉器结构的加速度传感器
灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究
利用显微激光多普勒测量纳米梁的残余应力
微纳加工技术在超微电极制备中的应用
基于MEMS工艺柔性电极制备与测试
扫描白光干涉测量技术的算法比较
基于FPGA控制的图像采集和存储系统
基于FPGA的火箭参数实时监测系统设计
弹载高冲击一体化子母弹子弹飞行姿态测量系统
基于PC104总线的数字量变换器测试系统设计
一种低噪声便携式的心电监测仪设计
RTD在压力下的弛豫振荡特性
基于SiCl4/SF6的GaAs/AlAs ICP选择性干法刻蚀
共振隧穿二极管的力电耦合特性
基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作
基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术
一种基于PSD的弹丸炮口姿态测试新方法
基于simulink的隧道式微加速度计的仿真与测试
面向MEMS系统级仿真的宏模型研究
MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现
一种基于微结构的GaAs HEMT的压阻系数
BCB/SiO_2双导芯层叠ARROW结构压力传感器设计
压阻式加速度传感器表面形貌分形表征
聚酰亚胺多模干涉器结构的光学加速度传感器
加速度对传声器影响的逆用分贝叠加修正
硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究
程控调幅多路并行信号源
基于ARC算法的数据压缩技术和实现
阵列存储在遥测图像采集系统中的应用
基于NiosⅡ的LVDS图像数据缓存系统的设计
高g值加速度计的设计与冲击特性分析
基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺
抗高过载大容量数据存储测试系统构建
基于PCI9054从模式的数据采集卡设计与应用
六通道雷达视频回波信号实时采集系统的设计
高可靠性远程数据传输系统设计
一种大容量固态飞行数据记录器设计
MEMS高量程微加速度计温度补偿的设计
无线数字视频监控系统设计
双核无线传感器网络节点通信接口设计
MEMS耐高温压力传感器封装工艺
基于MEMS矢量水听器微弱信号提取电路的设计与测试
一种电容式加速度传感器的温度补偿电路
多频连续波雷达自适应数据采集系统设计
一种低能见度图像的盲分离复原算法
高g值加速度环境微结构动态特性
中国微纳制造研究进展
介观压阻效应及器件
电热驱动镍微夹钳的设计及制作
MEMS微型柔性力—位移传动机构设计
微／纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法
基于硅微梳齿型谐振器的MEMS动态测试研究
利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性
复合量程微加速度计的研究
复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计
Temperature dependence of biaxial strain and its influence on phonon and band gap of GaN thin film
专利
多功能集成传感器芯片的制作方法
微纳结构3D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法
微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法
基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置
基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法
基于相移的光栅投影式三维轮廓测量装置及测量方法
一种超微锥电极及其制备方法
一种光纤传输的红外吸收式甲烷气体的检测方法
三维微力硅微传感器
激光线扫描测头几何变换标定与曲面插值修正方法及装置
压电叠堆驱动器的封装固定结构器
微型内燃机内置电阻点火器及其制备方法
一种扫描电化学和光学显微镜探针及其制备方法
微构件力学性能片外拉伸测试实验台
一种微注射和微环电极复合探针及其制造方法
一种多传感器集成芯片
微型内燃机内置平板电容点火器及其制备方法
数字影像测头矢量坐标变换标定与误差修正方法及其装置
彩色条纹编码的相位去包裹方法
压电陶瓷正弦激励加速度计的校准方法及装置
附加弹性梁的微拉伸试样结构
数字图像测量亚像素边沿处理方法
柔性单点力片式传感器及制造方法
高载微构件动态特性测试装置
基于Pt反应电极的气体传感器及温度补偿方法
网格压力传感芯片及制备方法、压力分布式传感器
一种用于MEMS动态特性测试的底座激励装置
薄膜应力测试方法及测试结构
一种纳米多台阶高度样板及其制备方法
一种纳米节距样板及其制备方法
一种超微环电极及其制备方法
一种纳米线宽样板及其制备方法
蒋庄德的项目
　国际科技合作项目组织实施方案研究及项目库建设
期刊论文 2
非球面光学元件智能化高效高精度磨削机理和方法研
微观机械构件的服役性能与制备工艺关系的研究
分维几何学在机械加工表面精度评定中的应用研究
纳米制造中的计量溯源与测试理论研究
期刊论文 90 会议论文 38 著作 1
第八届工程表面测量与性能会
第一届海峡两岸制造技术研讨会
高精度园柱面球面的测试评定理论及模拟基准的研究