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中文摘要：
ZnO 薄膜在 n-Si (111 ) 上被扔由搏动的激光免职(PLD ) 的底层系统。然后，样品在周围的空中在不同温度被退火，他们的性质特别地作为退火的功能被调查温度。Themicrostructure，形态学和成长得当的 ZnO 电影的光性质被学习由 X-raydiffraction (XRD ) ，原子力量显微镜(AFM ) ， Fourier 红外线分光镜(FTIR ) 和光致发光(PL ) 系列。结果证明成长得当的 ZnO 电影与比较喜欢的 c 轴取向有 hexagonalwurtzite 结构。而且， ZnOcrystallites 的直径变得更大， ZnO 电影的水晶质量随退火的增加被改进温度。
英文摘要：
ZnO thin films are deposited on n-Si（111） substrates by pulsed laser deposition（PLD） system. Then the samples are annealed at different temperatures in air ambient and their properties are investigated particularly as a function of annealing temperature. The microstructure, morphology and optical properties of the as-grown ZnO films are studied by X-ray diffraetion（XRD）. atomic force mieroseope（AFM）, Fourier transform infrared spectroscopy（FTIR） and photoluminescence（PL） spectra. The results show that the as- grown ZnO films have a hexagonal wurtzite structure with a preferred c-axis orientation. Moreover, the diameters of the ZnO crystallites become larger and the crystal quality of the ZnO fihns is improved with the increase of annealing temperature.
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