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Lateral Ge segregation and strain evolution in SiGe alloys during the formation of nickel germano-si
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:2013
  • 页码:1-4
  • 相关项目:硅基锗材料外延及其相关器件基础研究
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