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The study of temperature dependent strain in Ge epilayer with SiGe/Ge buffer layer on Si substrate w
  • ISSN号:0003-6951
  • 期刊名称:Applied Physics Letters
  • 时间:2014.6.18
  • 页码:241605-
  • 相关项目:硅基锗材料外延及其相关器件基础研究
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