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中文摘要：
基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片,获得较好的良品率。
英文摘要：
In this paper,the effect of laser processing parameters on the cutting of glass is studied by changing the laser parameters of the Edge Wave GmbH 532 nm wavelength nanosecond laser.Experiments show that we could get smooth edges,no transverse micro-cracking and free debris of glass substrates with higher yields by optimizing the laser parameters like current values,filling gap sizes,cutting depths and cutting speeds.
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